半導(dǎo)體制造設(shè)備用大氣壓力開(kāi)關(guān)
機(jī)電壓力開(kāi)關(guān)相比電子壓力開(kāi)關(guān)具有諸多優(yōu)勢(shì)。它們憑借堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu),本質(zhì)上具備故障安全功能,并且無(wú)需任何有源電子電路即可免受電磁干擾 (EMI) 的影響。機(jī)電壓力開(kāi)關(guān)通常用于關(guān)鍵的安全聯(lián)鎖裝置,例如半導(dǎo)體制造設(shè)備的大氣壓力開(kāi)關(guān)(即 ATM 開(kāi)關(guān))。