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VAT蝶閥20.3
  • VAT蝶閥20.3

VAT蝶閥20.3

  • 品  牌:VAT
  • 型  號(hào):20.3
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):4450

產(chǎn)品介紹

20.3型VATTERFLY閥門的核心要素在于其獨(dú)特的VATterfly技術(shù)。該閥門的關(guān)閉機(jī)構(gòu)運(yùn)作原理與傳統(tǒng)蝶閥技術(shù)存在顯著差異:在關(guān)閉循環(huán)過程中,閥板移動(dòng)時(shí)完全不接觸閥體,從而避免了激活潛在顆粒物的風(fēng)險(xiǎn)(例如由氣體副產(chǎn)物積聚形成的顆粒物)。該閥門還可像閘閥一樣在開啟和關(guān)閉位置實(shí)現(xiàn)機(jī)械鎖定,進(jìn)一步提升安全性。

這些特性使20.3型特別適用于污染性及腐蝕性工藝中的隔離需求。在數(shù)千種嚴(yán)苛工況條件下經(jīng)過驗(yàn)證,20.3/20.4系列展現(xiàn)出卓絕的可靠性。

20.3型蝶閥提供緊湊型標(biāo)準(zhǔn)閥體版本(20.3),其下游側(cè)設(shè)有延伸閥體覆蓋蝶板旋轉(zhuǎn)區(qū)域。

閥門尺寸范圍為DN 63 – 200mm(2½”– 8”),閥體材質(zhì)可選不銹鋼或鋁合金。兩種版本均標(biāo)配ISO-KF或CF-F法蘭,亦可提供其他法蘭規(guī)格。采用雙作用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng),標(biāo)配24 VDC電磁閥,亦可認(rèn)定其他電壓規(guī)格。

性能特點(diǎn)

顆?;罨潭鹊?/p>

抗工藝污染能力強(qiáng)

開閉位置機(jī)械鎖定

在污染性及腐蝕性工藝中運(yùn)行時(shí)間長

運(yùn)行可靠

相比傳統(tǒng)閘閥解決方案,擁有更低的持有成本

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

瑞士

尺寸

DN 63(2 ½“),DN 100(4”),DN 160(6“),DN 200(8”)

主體材料

鋁或不銹鋼

穿墻件

旋轉(zhuǎn)穿墻件

標(biāo)準(zhǔn)法蘭

ISO-F,CF-F

壓力范圍

1 × 10?? mbar 至 2 bar(absolutely壓力)

開啟時(shí)壓差

≤ 500 mbar

初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù)

100 000

安裝位置

任意

電磁閥

24 VDC,7.6 W(其他規(guī)格可定制)

執(zhí)行機(jī)構(gòu)

氣動(dòng):雙作用

泄漏率

閥體:< 1 × 10?? mbar·l/s

閥座:< 1 × 10?? mbar·l/s

閘板差壓

開啟方向:≤ 1.2 bar

關(guān)閉方向:≤ 1.6 bar

溫度

閥體:≤ 120 °C(可選150 °C)

執(zhí)行器:≤ 120 °C

電磁閥:≤ 50 °C

位置指示器:≤ 80 °C

材質(zhì)

鋁制閥體、閥板:EN AW-6060 (3.3206)、AW-6061 (3.3211)、AW-6063 (3.3206)、AW-6082 (3.2315)

不銹鋼閥體、閥板:AISI 304 (1.4301)

機(jī)芯:AISI 316L (1.4435)、AISI 304 (1.4301)

支撐環(huán):標(biāo)準(zhǔn)型:POM

支撐環(huán):150 °C 可選型:PEEK

位置指示器:觸點(diǎn)額定值

電壓:≤ 50 V AC/DC

電流:≤ 0.5 A

max功率:10 W

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造:

刻蝕工藝:在等離子體刻蝕過程中,閥門需頻繁開關(guān)以控制氣體流量。VAT 20.3的無接觸設(shè)計(jì)避免顆粒污染晶圓,機(jī)械鎖定功能防止意外開啟導(dǎo)致工藝中斷。

CVD/ALD沉積:配合61.3系列高真空蝶閥,實(shí)現(xiàn)沉積腔室的精細(xì)壓力調(diào)控,確保薄膜均勻性。

光伏產(chǎn)業(yè):

PERC電池鍍膜:在真空鍍膜環(huán)節(jié),閥門需承受高溫(>150℃)和腐蝕性氣體(如Cl?、H?)。VAT 20.3的耐腐蝕閥體和高溫密封材料可穩(wěn)定運(yùn)行,減少停機(jī)維護(hù)。

科研實(shí)驗(yàn):

同步輻射光源:需在ultra-high真空環(huán)境下長期運(yùn)行,閥門泄漏率低至10?¹² mbar·L/s,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。


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