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20.3型VATTERFLY閥門的核心要素在于其獨(dú)特的VATterfly技術(shù)。該閥門的關(guān)閉機(jī)構(gòu)運(yùn)作原理與傳統(tǒng)蝶閥技術(shù)存在顯著差異:在關(guān)閉循環(huán)過程中,閥板移動(dòng)時(shí)完全不接觸閥體,從而避免了激活潛在顆粒物的風(fēng)險(xiǎn)(例如由氣體副產(chǎn)物積聚形成的顆粒物)。該閥門還可像閘閥一樣在開啟和關(guān)閉位置實(shí)現(xiàn)機(jī)械鎖定,進(jìn)一步提升安全性。
這些特性使20.3型特別適用于污染性及腐蝕性工藝中的隔離需求。在數(shù)千種嚴(yán)苛工況條件下經(jīng)過驗(yàn)證,20.3/20.4系列展現(xiàn)出卓絕的可靠性。
20.3型蝶閥提供緊湊型標(biāo)準(zhǔn)閥體版本(20.3),其下游側(cè)設(shè)有延伸閥體覆蓋蝶板旋轉(zhuǎn)區(qū)域。
閥門尺寸范圍為DN 63 – 200mm(2½”– 8”),閥體材質(zhì)可選不銹鋼或鋁合金。兩種版本均標(biāo)配ISO-KF或CF-F法蘭,亦可提供其他法蘭規(guī)格。采用雙作用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng),標(biāo)配24 VDC電磁閥,亦可認(rèn)定其他電壓規(guī)格。
顆?;罨潭鹊?/p>
抗工藝污染能力強(qiáng)
開閉位置機(jī)械鎖定
在污染性及腐蝕性工藝中運(yùn)行時(shí)間長
運(yùn)行可靠
相比傳統(tǒng)閘閥解決方案,擁有更低的持有成本
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 63(2 ½“),DN 100(4”),DN 160(6“),DN 200(8”) |
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主體材料 |
鋁或不銹鋼 |
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穿墻件 |
旋轉(zhuǎn)穿墻件 |
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標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
ISO-F,CF-F |
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壓力范圍 |
1 × 10?? mbar 至 2 bar(absolutely壓力) |
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開啟時(shí)壓差 |
≤ 500 mbar |
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初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù) |
100 000 |
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安裝位置 |
任意 |
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電磁閥 |
24 VDC,7.6 W(其他規(guī)格可定制) |
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執(zhí)行機(jī)構(gòu) |
氣動(dòng):雙作用 |
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泄漏率 |
閥體:< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閥座:< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閘板差壓 |
開啟方向:≤ 1.2 bar |
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關(guān)閉方向:≤ 1.6 bar |
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溫度 |
閥體:≤ 120 °C(可選150 °C) |
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執(zhí)行器:≤ 120 °C |
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電磁閥:≤ 50 °C |
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位置指示器:≤ 80 °C |
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材質(zhì) |
鋁制閥體、閥板:EN AW-6060 (3.3206)、AW-6061 (3.3211)、AW-6063 (3.3206)、AW-6082 (3.2315) |
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不銹鋼閥體、閥板:AISI 304 (1.4301) |
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機(jī)芯:AISI 316L (1.4435)、AISI 304 (1.4301) |
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支撐環(huán):標(biāo)準(zhǔn)型:POM |
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支撐環(huán):150 °C 可選型:PEEK |
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位置指示器:觸點(diǎn)額定值 |
電壓:≤ 50 V AC/DC |
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電流:≤ 0.5 A |
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max功率:10 W |
半導(dǎo)體制造:
刻蝕工藝:在等離子體刻蝕過程中,閥門需頻繁開關(guān)以控制氣體流量。VAT 20.3的無接觸設(shè)計(jì)避免顆粒污染晶圓,機(jī)械鎖定功能防止意外開啟導(dǎo)致工藝中斷。
CVD/ALD沉積:配合61.3系列高真空蝶閥,實(shí)現(xiàn)沉積腔室的精細(xì)壓力調(diào)控,確保薄膜均勻性。
光伏產(chǎn)業(yè):
PERC電池鍍膜:在真空鍍膜環(huán)節(jié),閥門需承受高溫(>150℃)和腐蝕性氣體(如Cl?、H?)。VAT 20.3的耐腐蝕閥體和高溫密封材料可穩(wěn)定運(yùn)行,減少停機(jī)維護(hù)。
科研實(shí)驗(yàn):
同步輻射光源:需在ultra-high真空環(huán)境下長期運(yùn)行,閥門泄漏率低至10?¹² mbar·L/s,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。