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MICROFLEX TECHNOLOGIES墊片MSA-028-315
- 品 牌：MICROFLEX TECHNOLOGIES
- 型 號：MSA-028-315
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技術(shù)資料：
MICROFLEX TECHNOLOGIES墊片MSA-028-315.pdf
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產(chǎn)品介紹
MicroSeal 系列是高純度、高完整性密封件的完整產(chǎn)品線，適用于工業(yè)和半導(dǎo)體應(yīng)用，包括低流量、高流量、高壓和低壓降。我們還提供孔口密封件和盲孔密封件，用于封閉備用端口。其他主要優(yōu)點(diǎn)包括高清潔度和無源、富鉻、低 Ra 表面光潔度。MicroSeals 可改裝為標(biāo)準(zhǔn)的 “C ”型密封系統(tǒng)。我們的密封件符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) PR 3.1、3.5 和新的大流量標(biāo)準(zhǔn)。MicroSeal 的設(shè)計(jì)具有更柔軟、更順從的界面，可根據(jù)配合表面自行成型，確保泄漏密封性，并在不犧牲回彈特性的情況下去除虛擬泄漏。這是市場上具有高回彈性的高順應(yīng)性密封件。MicroSeals 的回彈率是同類密封件設(shè)計(jì)的十倍之多，而且對空腔公差的容忍度特別高。這確保了密封面在高壓力、溫度和振動條件下保持緊密接觸。所有這些特性都是在低壓縮率的情況下實(shí)現(xiàn)的，從而確保了較高的通過。
性能特點(diǎn)
3 端口
C 形密封組件
1.5" 基體 / K1s
優(yōu)化的內(nèi)徑，可在中流量、高流量、蒸汽和液體輸送系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)低壓降
低壓縮率，確保氣體/液體輸送系統(tǒng)的高可靠性
密封回彈力是傳統(tǒng)設(shè)計(jì)的 10 倍，可在沖擊和振動條件下實(shí)現(xiàn)泄漏完整性
符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 標(biāo)準(zhǔn)
高純度雙熔體 316 不銹鋼
潔凈被動式富鉻表面
5 Ra 潤濕表面處理
減免了高成本的返工和報(bào)廢現(xiàn)象
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)
8 個(gè)泄漏測試孔
3x microseal Series 60 p/n ms-028-062
4x 間隙孔，帶用于 M5 緊固件的固定片
microseal 固定器
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
美國 |
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泄漏測試孔 |
8 個(gè) |
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間隙孔 |
4 個(gè) |
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固定片 |
M5 緊固件 |
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材料 |
鉻/鐵；316L VIM VAR |
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硫含量 |
> 0.004 % |
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鉻/鐵比率 |
2.5 |
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氧化鉻厚度 |
> 20 埃 |
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氧化物厚度（減碳） |
35 角 |
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表面粗糙度 |
＜ 1 微英寸；10 微英寸 |
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缺陷/每個(gè)位置 |
＜ 1 個(gè)缺陷；＜ 25 個(gè)缺陷 |
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泄漏測試，設(shè)計(jì)壓力 |
5000 psig |
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外泄漏 |
< 1 x 10-9 atm·cc/sec He |
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暴露于 5000 psig 后，100 psig外泄漏 |
< 7 x 10-11 atm·cc/sec He |
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耐壓性能 |
7500 psig |
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爆裂測試（靜水壓力） |
靜水壓測試液體不得可見 |
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部件密封性 |
< 7 x 10-11 |
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> 20,000 psig 壓力 |
爆裂 |
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振動 |
MIL-SPEC 810E 1-3 章 1 類測試 |
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沖擊-跌落測試增量 |
25G |
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無沖擊規(guī)格泄漏 |
<1 x 10-9 atm·cc/sec He |
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經(jīng)過類別測試后泄露 |
<7 x 10-11 atm·cc/sec He |
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沖擊 > 294G |
無泄漏 |
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預(yù)加載防護(hù)系數(shù) |
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扭矩設(shè)置 |
80 % 和 120 % |
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內(nèi)側(cè)泄漏 |
< 1 x 10-9 atm·cc/sec He |
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扭矩 |
10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅 |
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內(nèi)側(cè)泄漏 |
< 7 x 10-11 atm·cc/sec He |
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可重復(fù)性 |
20 次 |
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扭矩 |
10、24 和 48 英寸/磅 |
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扭矩測試泄露 |
< 5 x 10-11 atm·cc/sec He |
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溫度循環(huán) |
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室溫 |
100 ℃；-10 ℃ |
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密封 |
三組雙端口 |
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周期 |
五個(gè) |
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內(nèi)側(cè)泄漏 |
< 7 x 10-11 atm·cc/sec He |
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溫度沖擊測試 |
-196 至 200 ℃（直接插入液態(tài) N2） |
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< 7 x 10-11 atm·cc/sec He 壓力 |
無泄漏 |
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壓縮載荷測試 |
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測量載荷 |
0.062 壓縮到 0.050 英寸 |
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標(biāo)準(zhǔn)密封 |
685 磅 |
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低負(fù)荷密封 |
618 磅 |
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
工業(yè)、半導(dǎo)體
津公網(wǎng)安備12010102000945號
