Almatec 一直致力于為半導(dǎo)體行業(yè)制造各種用于輸送和循環(huán)化學(xué)品的專(zhuān)用泵。憑借其直通式流道技術(shù)，Almatec FUTUR 系列氣動(dòng)雙隔膜（AODD）泵更適合滿足這些應(yīng)用的特殊要求。Futur S/SH 泵采用碳含量更低的不銹鋼（316L）制造。泵體部件由整塊不銹鋼坯料加工而成，并經(jīng)過(guò)拋光處理，這是確保表面無(wú)氣孔的適配方法。Futur S 系列與 Futur SH 系列的主要區(qū)別在于非接觸液側(cè)殼體的材質(zhì)（導(dǎo)電聚乙烯或 SS316），以及由此決定的工作溫度上限。Futur 系列泵屬于自吸式氣動(dòng)隔膜泵，可通過(guò)調(diào)節(jié)氣量輕松控制。液體直接流經(jīng)中央殼體內(nèi)的介質(zhì)腔室，而氣動(dòng)控制系統(tǒng)和氣室則位于側(cè)殼體內(nèi)。這種設(shè)計(jì)確保只有機(jī)殼的一部分與液體接觸，將流路彎頭減少至僅兩個(gè)，更大限度地縮小了接觸面積，去除了產(chǎn)品腔室內(nèi)的滑動(dòng)部件，并使密封墊圈成為多余。Futur泵的潤(rùn)濕區(qū)域內(nèi)沒(méi)有O型圈密封。沒(méi)有拉桿或夾具等緊固元件。產(chǎn)品腔室之間的非接觸式級(jí)聯(lián)密封是其主要結(jié)構(gòu)特征。上述所有設(shè)計(jì)特點(diǎn)均旨在更大限度地減少顆粒的產(chǎn)生。Futur 泵結(jié)構(gòu)緊湊、設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，零件數(shù)量少。泵體部件由實(shí)心塊加工而成，確保了長(zhǎng)久的使用壽命。一體式隔膜同樣由實(shí)心 PTFE 切片加工而成。吸入和排出端口位于前方，從而簡(jiǎn)化了在狹小空間內(nèi)的安裝。

五種材質(zhì)版本（T/H/E/S/F），適用于不同應(yīng)用場(chǎng)景

全塑料型號(hào)不含金屬部件

非接觸式級(jí)聯(lián)密封設(shè)計(jì)

與介質(zhì)接觸區(qū)域無(wú) O 型圈密封

直通式流道設(shè)計(jì)

免維護(hù)氣控系統(tǒng)

內(nèi)部氣流

無(wú)板片和墊片的隔膜，優(yōu)化了隔膜幾何形狀

表面密封的缸體閥，拆裝簡(jiǎn)便

無(wú)需固定任何部件，包括拉桿、螺母或夾具

可輕松加裝隔膜和/或行程傳感器

低噪音

FUTUR T：耐腐蝕且抗拉強(qiáng)度更高，適用于處理酸和堿

FUTUR H：適用于涉及酸和堿的高溫應(yīng)用

FUTUR E：耐磨損，適用于半導(dǎo)體拋光漿料和CMP工藝

FUTUR S/SH：采用實(shí)心316L不銹鋼制造，適用于溶劑混合物和脫脂劑

FUTUR F：專(zhuān)為涉及溶劑的高純度及ATEX應(yīng)用而設(shè)計(jì)

左側(cè)殼體

隔膜

中央殼體

PERSWING P 空氣控制系統(tǒng)

級(jí)聯(lián)套筒

右側(cè)殼體

接頭螺母

可選配獨(dú)立脈動(dòng)阻尼器

溶劑、溶劑混合物、脫漆劑