STRETCH-TO-LENGTH 加熱器是半導(dǎo)體氣體管路應(yīng)用的解決方案，可提供準(zhǔn)確的溫度控制，以防止關(guān)鍵工藝化學(xué)品發(fā)生冷凝或因過(guò)熱而分解，可解決因低溫下相變導(dǎo)致關(guān)鍵氣體冷凝的問(wèn)題。作為加熱帶的優(yōu)選替代方案，其預(yù)成型結(jié)構(gòu)可纏繞在輸送管路上，確保加熱器與氣體管路保持均勻接觸，從而提高溫度均勻性。過(guò)高或過(guò)低的溫度條件可能會(huì)產(chǎn)生有害顆粒，從而導(dǎo)致代價(jià)高昂的器件缺陷和設(shè)備維護(hù)成本。STRETCH-TO-LENGTH加熱器的預(yù)成型纏繞能力為工程師提供了必要的靈活性，以適應(yīng)不同尺寸的組件，從而減少熱點(diǎn)和冷點(diǎn)的可能性。該系統(tǒng)包括一個(gè)功率密度為2 W/in²的STRETCH-TO-LENGTH加熱器和硅橡膠泡沫絕緣層。

兩部分系統(tǒng)設(shè)計(jì)

安裝簡(jiǎn)便

輕松適配大多數(shù)氣路配置

靈活的加熱器設(shè)計(jì)

可輕松為每種氣路應(yīng)用定制熱分布曲線

支持快速原型制作，以確定工藝改進(jìn)所需的能量分布要求

靈活的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)組件

“按長(zhǎng)度拉伸”型加熱器的規(guī)格以直線長(zhǎng)度為準(zhǔn)。工程師可通過(guò)纏繞加熱器，以滿足實(shí)際應(yīng)用中的溫度分布要求。針對(duì)直徑為 1/4 英寸（6 毫米）和 1/2 英寸（13 毫米）的管材，提供約 60% 和 80% 的覆蓋長(zhǎng)度作為參考，以便根據(jù)實(shí)際燃?xì)夤艿莱叽邕x擇合適的加熱器長(zhǎng)度。

滿覆蓋率的燃?xì)夤芫€可提供約2 W/in²的熱功率

覆蓋率為80%時(shí)為1.6 W/in²

覆蓋率為60%時(shí)為1.2 W/in²

可提供帶 EGH 集成熱管理解決方案的型號(hào)

電源線 6 英尺 18-2 SJ；Z5302-2

Y型接線連接器 - 1F-2M；Z5303-2

Y型接線連接器 - 1M-2F；Z6333

母頭插頭；Z5309-2

公頭插頭；Z6332

12 英寸 24 號(hào) J型T/C，帶微型插頭；Z5786

12英寸 24號(hào) KT/C型，帶微型插頭；Z5639

轉(zhuǎn)換器 - M-F；Z6334

轉(zhuǎn)換器 - F-M；Z6335

6英寸電源延長(zhǎng)線；Z6374

10英尺 J型T/C延長(zhǎng)線；Z6271

Semi S2-93 兼容高溫限位熱電偶和控制器

氣體輸送管線、三氯化硼，BCI₃、三氟化氯，CIF₃、二氯硅烷（DCS），SiH₂CI₂、四乙氧基硅酸酯，TEOS、六氟化鎢，WF₃、工藝氣體管線認(rèn)證