產(chǎn)地

美國

射頻功率技術(shù)參數(shù)

電路類型

固態(tài)射頻電源，帶自動匹配功能

頻率

27.12 MHz ± 0.05%

頻率穩(wěn)定性

< 0.1%

輸出功率

800 W - 1200 W

輸出功率穩(wěn)定性

< 0.3%

射頻輻射泄漏

距儀器 30 cm 處，電場強度E < 2V/m

采樣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

輸出工作線圈內(nèi)徑

25 mm

扭矩管

三同心，外徑 20 mm

同軸霧化器

外徑 6 mm

雙腔霧化室

外徑 34 mm

氣體流量控制

等離子氬氣流量計

(100-1000) L/h (1.6-16 L/min)

輔助氬氣流量計

(10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)

載氣氬氣流量計

(10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)

保壓閥

0 - 0.4 MPa

冷卻水

溫度20-25 °C，流量 >5 L/min，液壓 >0.1 MPa

光譜儀

光學(xué)系統(tǒng)

Czerny-Turner 型

焦距

1000 mm

光柵

離子束刻蝕全息光柵，3600 L/mm 或 2400 L/mm

倒數(shù)線性色散

0.26 nm/mm

分辨率

≤ 0.007 nm（3600 線光柵）；≤ 0.015 nm（2400 線光柵）

波長范圍

3600 線光柵

(190 nm ~ 500) nm

2400線光柵

(190 nm ~ 800) nm

步進(jìn)電機(jī)步長

min.≤ 0.0006 nm

出射狹縫

12 µm

入射狹縫

10 µm

光電轉(zhuǎn)換器性能

光電倍增管規(guī)格

R293/R928

光電倍增管負(fù)高壓

0 - 1000 V

穩(wěn)定性

< 0.05 %